シリカ測定装置 SLC‐1605/1615/1625シリーズ
- 超LSI 製造用、ボイラー用の超純水・純水中のシリカ(SiO2)濃度を精度良く測定する装置
- 測定方式はモリブデン青吸光光度法を採用
- 測定範囲に対応し、極低濃度用、低濃度用、高濃度用の3機種を用意
- 測定範囲
- 極低濃度用(SLC-1605)：
0〜10、 0〜500ppb間の2レンジ
- 低濃度用(SLC-1615)：
0〜50、 0〜5、000ppb間の2レンジ
- 高濃度用(SLC-1625)：
0〜5、 0〜50ppb間の2レンジ
超純水用シリカ測定装置 HSLC‐1000
- 超純水プラントの運転管理に使用
- 測定原理はモリブデン青吸光光度法を採用
- 光路長1,000mmの光学セルにより高感度化
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